關鍵詞:
激光測量儀 橢偏儀光源 橢偏儀 橢偏儀設備 激光測高儀精度
產品用途:激光橢偏儀
BX-G103系列是針對高-端研發和質量控制領域推出的極-致型多入射角激光橢偏儀。 BX-G103系列可在單入射角度或多入射角度下對樣品進行準確測量??捎糜跍y量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數k;也可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數k;亦可用于實時測量納米薄膜動態生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數k。多入射角度設計實現了納米薄膜的絕對厚度測量。
儀器特點:
l 測量方法:Delta測量范圍0-360o,無測量死角問題(即使在0o或180o附近時也具有極-高的準確度),也可消除粗糙表面引起的消偏振效應對結果的影響
l 原子層量級的極-高靈敏度和準確度:采樣方法、高穩定的核心器件、高質量的制造工藝實現并保證了極-高的準確度和穩定性
l 百毫秒量級的快速測量:在保證極-高精度和準確度的同時,可在幾百毫秒內快速完成一次測量,可滿足快速多點檢測和批量檢測需求
l 精準方便的樣品對準:視頻式自準直樣品方位精密對準系統,精度高、操作方便
l 簡單方便的儀器操作:一鍵操作即可完成復雜的樣品測量和分析;按照質控要求進行數據多種導出;豐富的模型庫和材料庫方便用戶的高級操作;管理員/操作員不同的模式,保證儀器安全
技術參數: