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石英管微波等離子體發生裝置 微波等離子體分析儀 等離子體發生裝置
型號:BXS01-HF19-FM
該設備利用頻率為2.45GHz的微波激勵稀薄氣體放電,從而產生等離子體。真空反應室為Φ50mm的石英管腔體。放置樣品的基片臺可以方便地在反應腔體內上下升降調節。
基片臺位于石英管反應腔體的中心,該基片臺除了基本的上下升降功能外,同時具有水冷控溫的功能,雙層水冷支架與基片臺可方便地拆卸與維護,即使樣品以不同的形態(片狀、塊狀、粉末狀等)出現,更換或改裝基片臺也十分方便。
石英管反應腔兩端有雙層水冷套作降溫保護,端口以不銹鋼部件固定并密封(加橡膠)石英腔體,以確保反應腔的安全穩定工作。
該設備的真空系統采用2XZ-2型旋片真空泵,極限真空6×10-1帕,抽速2升/秒,額定轉速1400轉/分,機械泵與真空室之間設置有電磁閥和高真空隔膜閥,旁路管道設置另一隔斷閥(高真空微調閥),以便于真空系統運行安全及工作時反應氣體壓強的靈活控制。真空密封采用金屬和橡膠密封,通常:相對不動接口采用金屬銅密封,相對可動接口采用橡膠密封。
真空測量采用數字壓阻式真空計,用來測量反應腔內的工作氣壓。
主要電氣配置:
1) 真空泵:2XZ-2型旋片真空泵采用單相220V交流電源,對實驗室電源無特殊要求。
2) 磁控管:采用工業上通用的磁控管,該磁控管具有使用壽命長、可靠性高的特點,維護方便。
3) 真空計:采用壓阻式真空計,用于測量工作時的工作氣壓。
4) 溫控儀:用于冷卻水循環系統中的制冷及水溫控制。
5) 500W微波功率源:通過調節磁控管陽極電壓的方法調節微波功率的輸出,利用簡單、可靠、易維護的電路實現微波功率的連續可調輸出。
6) 冷卻水:裝置自帶循環冷卻水,對實驗室無水源要求,既節水又方便。
二、技術參數及特性1. 反應室工作壓強:幾百帕~十千帕
2. 反應室極限壓強: 6×10-1帕3. 反應室尺寸: Φ50mm
4. 微波功率: 0~500W5. 基片溫控: 200~1000℃
外形尺寸 1.4*1.5*0.6立方米(mm)
測量范圍 0.500W(Ω)
北京北信未來電子科技中心
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:王華
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